氧化鋁在藍(lán)寶石拋光領(lǐng)域的應(yīng)用
藍(lán)寶石用α-氧化鋁拋光漿料(VK-L30W)
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,晶體材料的使用愈加廣泛和重要,因此晶體材料的開發(fā)、加工及應(yīng)用普遍受到人們的重視。其中,藍(lán)寶石是用途最廣泛的晶體材料之一,不僅有良好的物理和化學(xué)性能,同時也具有優(yōu)異的光學(xué)性能——主要表現(xiàn)在可透過藍(lán)寶石的光的波長范圍廣,且由于透光率高,光能損失少,可增強(qiáng)信號的精確性。
藍(lán)寶石的應(yīng)用領(lǐng)域
但為了將藍(lán)寶石的光學(xué)性能發(fā)揮出來,它本身必須要高質(zhì)量低損傷——尤其在高精尖領(lǐng)域中,很多廠商都要求晶體表層一定要達(dá)到超過光滑表面的技術(shù)指標(biāo),粗糙度需低于幾個納米,晶體表面沒有任何的損壞和劃痕,因此對藍(lán)寶石的精密拋光與超精密拋光的挑戰(zhàn)不可謂不大。
氧化鋁在藍(lán)寶石拋光領(lǐng)域的應(yīng)用
相對于其他拋光技術(shù)來說,目前化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(CMP)是唯一可以實(shí)現(xiàn)全局化精細(xì)拋光的工藝。在拋光過程中,漿料可與藍(lán)寶石單晶片發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成一種硬度低于藍(lán)寶石的物質(zhì),磨料與該物質(zhì)進(jìn)行機(jī)械摩擦進(jìn)移除,消除不平整的部位,拋光后的藍(lán)寶石粗糙度低,表面質(zhì)量高,符合“大面積、高質(zhì)量”的要求。
拋光漿料一般由磨料、腐蝕介質(zhì)等成分組成,這些磨料主要起機(jī)械研磨作用,但部分磨料同時也能起到與藍(lán)寶石表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的作用。目前被廣泛應(yīng)用在藍(lán)寶石CMP中的拋光漿料主要有二氧化硅拋光漿料(VK-SP30W)、α-氧化鋁拋光漿料(VK-L30W)、二氧化鈰拋光漿料(VK-CE30W)等。
其中,氧化鋁磨料(VK-L30W)的硬度與藍(lán)寶石(莫氏硬度為9)接近,在對藍(lán)寶石拋光過程中的材料去除速率較高,因而逐漸成為拋光藍(lán)寶石的熱門磨料之一。不過,雖然有明顯優(yōu)勢,但由于氧化鋁自身性質(zhì),以其為磨料配制的拋光漿料并不穩(wěn)定易團(tuán)聚,容易造成藍(lán)寶石表面劃痕嚴(yán)重、平整度降低,如何克服氧化鋁系拋光漿料穩(wěn)定性成為當(dāng)下研究熱點(diǎn)。
宣城晶瑞新材料有限公司是國內(nèi)較早大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)納米氧化鋁的廠家,目前已經(jīng)能穩(wěn)定生產(chǎn)提供納米氧化鋁系列粉體及分散液漿料產(chǎn)品,原生粒徑可控制在10-200nm范圍,比表面積可提供10-200m2/g系列產(chǎn)品。a相納米氧化鋁拋光液(VK-L30W),是我公司將30納米氧化鋁拋光粉經(jīng)過特殊的分散工藝,分散成穩(wěn)定的拋光漿料,方便直接使用于粉體拋光粉適用的各種領(lǐng)域。18620162680微信同步。
a相納米氧化鋁拋光液(VK-L30W)
技術(shù)特征:
·晶粒尺寸微細(xì)、晶型完好;
·比重大,具有良好的分散性。
·顆粒細(xì)小均勻無團(tuán)聚,適合于鏡面精拋光用途。
氧化鋁拋光液(VK-L30W)用于藍(lán)寶石拋光比氧化硅的拋光速率快3倍左右,每小時能拋7-10um。